机译:用于改善高纵横比硅微加工的硼腐蚀停止辅助横向硅腐蚀工艺及其应用
机译:SOI衬底的DRIE高纵横比硅微加工的三层保护工艺
机译:使用近场扫描光学光刻和硅各向异性湿法刻蚀工艺制备高纵横比的硅纳米结构
机译:高纵横比微加工零件的新型硅制造工艺
机译:EFAB:一种新颖的,高纵横比的真正三维微加工工艺,用于快速,低成本的MEMS台式微加工。
机译:通过深反应离子蚀刻制造高纵横比硅光栅
机译:微机芯的工艺技术。深硅加工反应离子蚀刻系统的制造。
机译:用于高纵横比微加工零件的平面硅制造工艺